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台積電將開全球之先 可望把再生水導入製程

2021/02/26 16:23

水情拉警報,台積電開全球之先,今年可望將再生水導入南科廠先進製程中。(記者洪友芳攝)

〔記者洪友芳/新竹報導〕水情拉警報,台積電 (2330) 去年啟動南科再生水廠建廠工程加快施工腳步,預計今年3月完成主體建築,預計今年底完工啟用後,將致力將工業廢水與民生汙水淨化,產出優於進水品質要求的再生水,並導入製程,屆時將是開全球半導體業之先,成為全球第一個導入工業再生水的先進晶圓廠。

台積電自許朝綠色製造發展,持續透過「節流」與「開源」並行,投入資源與人力強化用水效率,打造高效能與周密的水管理網絡。為持續降低自來水用水量,積極承諾並使用工業廢水與民生汙水的再生水,台積電於2015年開始發展再生水技術,2016年打造全國第1條半導體工業再生水試產線,回收處理工業放流水。

台積電去年啟動南科再生水廠建廠工程,為台灣第1座民營再生水廠,預計今年3月完成主體建築,隨後將安裝系統、啟動試產並持續調校,致力產出優於進水品質要求的再生水。再生水廠預計今年底通水,未來最高每天可供應2萬噸水量。

台積電還以全物理壓濾的晶背研磨廢水再生技術,取代添加化學藥劑的混凝沉降法,處理半導體封裝製程大宗廢水晶背研磨廢水,節省化學藥劑用量,同時產製品由原本的無機性汙泥,轉化為有價的高純度工業級矽產品。

台積電指出,晶背研磨廢水資源化系統於去年7月在先進封測3廠正式啟動,到今年1月共計回收逾1.5萬公噸晶背研磨廢水,成功產製30公噸工業級矽產品。台積電預計後年擴大導入目前興建中的先進封測2廠第二期、先進封測6廠,朝資源永續的目標持續邁進。

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