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光阻事件對龍頭廠台積電營運影響比預期嚴重。（記者洪友芳攝）
〔記者洪友芳／新竹報導〕台積電（2330）南科晶圓14B廠因光阻原料不良，引發生產的晶圓須報廢並調降第1季財測，光阻事件對龍頭廠台積電營運影響比預期嚴重，供應商又是國際大廠陶氏化學（Dow Chemica），發生如此大事，半導體業感到不可思議，議論紛紛，昨傳出台積電將向陶氏化學索賠高達40億元，這恐創下晶圓廠向材料供應商索賠鉅額首例。
否認竹科中科用同一原料
台積電對哪家供應商與索賠多少皆低調不回應，業界對責任歸屬也有不同看法與傳言，台積電最後能否索賠成功，還待時間觀察。
台積電否認晶圓良率降低
業界傳言，用在南科晶圓14B廠的光阻原料，竹科的晶圓12廠與中科晶圓15廠都使用同一批，但發現有缺陷（defect）疑慮，均趕緊停用，南科晶圓14B卻判斷不會造成良率影響而採用，最後造成數萬片晶圓良率偏低的重大損失，台積電否認有這回事，強調「傳言不實」。
業界熟悉晶圓廠生產的高階主管紛表示，光阻的配方一般是供應商的商業機密，有部分不會提供給客戶，若是光阻內有雜質或重金屬等，一般是不容易驗出來；通常半導體廠會要求供應商提供品質合格報告，測光阻黏稠度或抽樣，無法有精密儀器逐一檢測，須生產環境中才會得知有沒有問題。
半導體業指出，台積電通常會依製程對生產材料有不同品質預審，例如有的會挑關鍵層光阻進行品質把關，通過預審，供應商才能出貨，越先進製程的材料，出貨的把關標準更嚴格，每半年也會抽驗供應商的材料品質測試，業界推測陶氏的光阻材料應該也供應台積電28奈米製程，品質認定沒有問題，但用在16與12奈米可能就有問題。
客戶庫存高 影響不大
為確保出貨給客戶的晶圓品質，台積電表示，決定報廢的晶圓數量較先前評估的更多。業界估算約5到6萬片之間，但因12/16奈米製程的單價高，影響營收額才高。因目前屬產業淡季，客戶端庫存較高，生產遞延到第2季對客戶應該不會有影響。
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